太阳能Issue(4)：P.83-86,4.DOI:10.19911/j.1003-0417.tyn20210914.02
基于大产能的管式PECVD设备推舟机构的结构优化与仿真研究
摘要
关键词
太阳电池/PECVD设备/推舟机构/结构优化/ANSYS软件/仿真分类
机械制造引用本文复制引用
朱辉,成秋云,李晔纯,曾昭贤,龙辉..基于大产能的管式PECVD设备推舟机构的结构优化与仿真研究[J].太阳能,2022,(4):P.83-86,4.基金项目
2021年度长沙市技术创新中心项目(kh2101010) （kh2101010）
湖南省创新型省份建设专项任务书(2019年度)(2019TP2048)。 （2019年度）
