南京理工大学学报2022，Vol.46Issue(2)：P.150-155,6.DOI:10.14177/j.cnki.32-1397n.2022.46.02.004
光电-静电复合驱动MEMS悬臂梁挠度分析
摘要
关键词
PLZT陶瓷/悬臂梁/光电-静电复合驱动/挠度分析/数学模型分类
通用工业技术引用本文复制引用
唐玉娟,陈昱松,王新杰,乔锟..光电-静电复合驱动MEMS悬臂梁挠度分析[J].南京理工大学学报,2022,46(2):P.150-155,6.基金项目
国家自然科学基金(51675282) （51675282）
2020年度金陵科技学院“科教融合”项目(2020KJRH15)。 （2020KJRH15）
