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一种三端口椭圆能量聚焦型大功率微波等离子体炬

谢政廷 朱盛颖 朱铧丞 杨阳 黄卡玛

真空电子技术Issue(2):P.86-91,6.
真空电子技术Issue(2):P.86-91,6.DOI:10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2022.02.14

一种三端口椭圆能量聚焦型大功率微波等离子体炬

谢政廷 1朱盛颖 1朱铧丞 1杨阳 1黄卡玛1

作者信息

  • 1. 四川大学电子信息学院,四川成都610065
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摘要

关键词

微波等离子体/大功率/多端口/多物理场

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

谢政廷,朱盛颖,朱铧丞,杨阳,黄卡玛..一种三端口椭圆能量聚焦型大功率微波等离子体炬[J].真空电子技术,2022,(2):P.86-91,6.

真空电子技术

1002-8935

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