真空电子技术Issue(2)：P.92-96,5.DOI:10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2022.02.15
基于带状线的新型八通道微波等离子体射流装置
付刚 1黄卡玛 1钟南亚1
作者信息
- 1. 四川大学电子信息学院,四川成都610065
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摘要
关键词
微波等离子体/小型/处理大面积/带状线分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
付刚,黄卡玛,钟南亚..基于带状线的新型八通道微波等离子体射流装置[J].真空电子技术,2022,(2):P.92-96,5.
