实验科学与技术2022，Vol.20Issue(2)：P.112-116,5.DOI:10.12179/1672-4550.20210332
集成电路工艺课程实践教学设计
蒋苓利 1刘欢 1于洪宇1
作者信息
- 1. 南方科技大学深港微电子学院,深圳518055
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摘要
关键词
集成电路/实践教学/工艺/半导体分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
蒋苓利,刘欢,于洪宇..集成电路工艺课程实践教学设计[J].实验科学与技术,2022,20(2):P.112-116,5.基金项目
南方科技大学本科教学质量及教学改革工程项目(XJJG202001)。 （XJJG202001）
