桂林电子科技大学学报2022，Vol.42Issue(1)：P.8-13,6.
蓝宝石衬底上AlGaN/GaN异质结的制备及性能研究
摘要
关键词
成核层/位错密度/插入层/表面形貌/方块电阻分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张法碧,杨倩倩,梁智文,王琦..蓝宝石衬底上AlGaN/GaN异质结的制备及性能研究[J].桂林电子科技大学学报,2022,42(1):P.8-13,6.基金项目
国家自然科学基金(61764001) （61764001）
广西科技厅基地与人才专项(AD18281084) （AD18281084）
广西高校引进海外高层次人才“百人计划”(C66RXC040001) （C66RXC040001）
广西精密导航技术与应用重点实验室基金(DH201808) （DH201808）
广东省重点领域研发计划(2020B010169001) （2020B010169001）
广东省区域联合基金重点项目(2019B1515120091) （2019B1515120091）
广东省重点领域研发计划(2020B090922001)。 （2020B090922001）
