中国机械工程2022，Vol.33Issue(9)：P.1084-1089,6.DOI:10.3969/j.issn.1004-132X.2022.09.010
纳米精度在位测量系统测头误差校正方法
摘要
关键词
超精密机床/在位测量/误差校正/纳米精度分类
机械制造引用本文复制引用
郭曦鹏,徐闻,王定文,李蓉,尹韶辉..纳米精度在位测量系统测头误差校正方法[J].中国机械工程,2022,33(9):P.1084-1089,6.基金项目
国家重点研发计划(2017YFE0116900) （2017YFE0116900）
国家自然科学基金(52130503) （52130503）
湖南省重点研发计划(2020WK2011)。 （2020WK2011）
