徐州工程学院学报：自然科学版2022，Vol.37Issue(1)：P.63-68,6.
基于空间节约功能复合的晶圆清洗干燥检测集成装置研究
摘要
关键词
晶圆/后处理工艺/模块化/集成分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
孙进,梁立,刘芳军,杨志勇..基于空间节约功能复合的晶圆清洗干燥检测集成装置研究[J].徐州工程学院学报：自然科学版,2022,37(1):P.63-68,6.基金项目
国家自然科学基金项目(51475409) （51475409）
江苏省产学研合作项目(BY2020663) （BY2020663）
2021年扬州市产业前瞻与共性关键技术项目(YZ2021020) （YZ2021020）
扬州大学市校使用专项(YZ2020166)。 （YZ2020166）
