人工晶体学报2022，Vol.51Issue(4)：P.606-610,5.
n型GaAs欧姆接触电极制备工艺
摘要
关键词
砷化镓/半导体/欧姆接触/金锗镍合金/电极材料/离子溅射/比接触电阻率分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
左芬,翟章印..n型GaAs欧姆接触电极制备工艺[J].人工晶体学报,2022,51(4):P.606-610,5.基金项目
江苏省自然科学基金(BK20140450) （BK20140450）
江苏省高校自然科学基金重大项目(19KJA150011)。 （19KJA150011）
