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配合参数对单晶炉驱动系统的影响分析

黄鸣 王维

人工晶体学报2022，Vol.51Issue(4)：P.594-599,605,7.
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人工晶体学报2022，Vol.51Issue(4)：P.594-599,605,7.

配合参数对单晶炉驱动系统的影响分析

黄鸣 1王维1

作者信息

  • 1. 北京北方华创真空技术有限公司,北京100015
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摘要

关键词

硅单晶/单晶炉/驱动系统/配合间隙/丝杠/仿真模拟

分类

数理科学

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黄鸣,王维..配合参数对单晶炉驱动系统的影响分析[J].人工晶体学报,2022,51(4):P.594-599,605,7.

人工晶体学报

OA北大核心CSTPCD

1000-985X

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