测控技术2022，Vol.41Issue(5)：P.33-37,5.DOI:10.19708/j.ckjs.2022.05.005
弱C轴择优AlN薄膜晶体测温技术研究
摘要
关键词
磁控溅射/弱C轴择优AlN薄膜/2θ/晶体测温/判读软件分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
董玲,李杨,吕静雯,蒋洪川,张万里..弱C轴择优AlN薄膜晶体测温技术研究[J].测控技术,2022,41(5):P.33-37,5.基金项目
国家自然基金重大研究计划培育项目(91860117)。 （91860117）
