电子学报2022，Vol.50Issue(4)：P.984-989,6.DOI:10.12263/DZXB.20211001
面向医疗微系统应用的基于引线键合仪的碳纳米管转移集成工艺方法
王晓晶 1罗晓亮 1王浩旭 1尹建程 1胡振峰 1梁秀兵1
作者信息
- 1. 军事科学院国防科技创新研究院前沿交叉技术研究中心,北京100071
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摘要
关键词
引线键合/异质集成/碳纳米管/场发射/X射线源/创伤最小化医疗器件分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王晓晶,罗晓亮,王浩旭,尹建程,胡振峰,梁秀兵..面向医疗微系统应用的基于引线键合仪的碳纳米管转移集成工艺方法[J].电子学报,2022,50(4):P.984-989,6.
