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基于硅基微电子机械系统仿生振膜的光纤麦克风

刘欣蔡宸董志飞邓欣胡昕宇祁志美

物理学报2022，Vol.71Issue(9)：P.180-190,11.

物理学报2022，Vol.71Issue(9)：P.180-190,11.DOI:10.7498/aps.71.20212229

刘欣 ¹蔡宸 ¹董志飞 ¹邓欣 ¹胡昕宇 ¹祁志美²

作者信息

1. 中国科学院空天信息创新研究院,传感技术国家重点实验室,北京100190 中国科学院大学电子电气与通信工程学院,北京100049
2. 中国科学院空天信息创新研究院,传感技术国家重点实验室,北京100190 中国科学院大学电子电气与通信工程学院,北京100049 中国科学院大学光电学院,北京100049
折叠

硅基微电子机械系统仿生振膜/光纤麦克风/摇摆模态/声源定位

信息技术与安全科学

刘欣,蔡宸,董志飞,邓欣,胡昕宇,祁志美..基于硅基微电子机械系统仿生振膜的光纤麦克风[J].物理学报,2022,71(9):P.180-190,11.

国家自然科学基金(批准号:61801456)资助的课题。（批准号:61801456）

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

ISSN：1000-3290

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