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碳源入射角对超薄四面体非晶碳膜结构和性能的影响

党坤 王华 陈维铅 李玉宏 许世鹏

硅酸盐学报2022，Vol.50Issue(5)：1385-1390,6.
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硅酸盐学报2022，Vol.50Issue(5)：1385-1390,6.DOI:10.14062/j.issn.0454-5648.20210403

碳源入射角对超薄四面体非晶碳膜结构和性能的影响

Effect of Carbon Source Incident Angle on Structure and Properties of Ultrathin Tetrahedral Amorphous Carbon Films

党坤 1王华 1陈维铅 2李玉宏 1许世鹏1

作者信息

  • 1. 甘肃省太阳能发电系统工程重点实验室,酒泉职业技术学院,甘肃 酒泉 735000
  • 2. 有色金属先进加工与再利用国家重点实验室,兰州理工大学,兰州 730050
  • 折叠

摘要

关键词

四面体非晶碳膜/碳源入射角/微观结构/润湿性/表面形貌

分类

数理科学

引用本文复制引用

党坤,王华,陈维铅,李玉宏,许世鹏..碳源入射角对超薄四面体非晶碳膜结构和性能的影响[J].硅酸盐学报,2022,50(5):1385-1390,6.

基金项目

甘肃省高等学校科研项目(2020A-286) （2020A-286）

酒泉市科技支撑计划项目. （）

硅酸盐学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

0454-5648

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