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高温ITO薄膜应变计结构参数影响研究

李剑 刘志春 周浩 李强 赵鑫 梁军生 王立鼎

航空科学技术2022，Vol.33Issue(5)：69-75,7.
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航空科学技术2022，Vol.33Issue(5)：69-75,7.DOI:10.19452/j.issn1007-5453.2022.05.010

高温ITO薄膜应变计结构参数影响研究

Investigation of Structure Parameters on the Properties of ITO Film Strain Gauge at High Temperatures

李剑 1刘志春 1周浩 1李强 2赵鑫 2梁军生 1王立鼎3

作者信息

  • 1. 大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁 大连 116024
  • 2. 中国航空工业空气动力研究院高超声速气动力/热重点实验室,辽宁 沈阳 110034
  • 3. 大连理工大学精密与特种加工技术教育部重点实验室,辽宁 大连 116024
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摘要

关键词

ITO/应变计/高温/航空发动机/GF

分类

航空航天

引用本文复制引用

李剑,刘志春,周浩,李强,赵鑫,梁军生,王立鼎..高温ITO薄膜应变计结构参数影响研究[J].航空科学技术,2022,33(5):69-75,7.

基金项目

航空科学基金(2019ZD063001) （2019ZD063001）

高超声速气动力/热重点实验室基金 （）

航空科学技术

1007-5453

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