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四象限探测器光斑定位精度影响因素研究

刁宽 刘晓军 徐龙 胡明亮

华中科技大学学报(自然科学版)2022,Vol.50Issue(4):14-18,5.
华中科技大学学报(自然科学版)2022,Vol.50Issue(4):14-18,5.DOI:10.13245/j.hust.220401

四象限探测器光斑定位精度影响因素研究

Research on factors affecting spot positioning accuracy of four-quadrant detector

刁宽 1刘晓军 1徐龙 1胡明亮1

作者信息

  • 1. 华中科技大学机械科学与工程学院,湖北武汉430074
  • 折叠

摘要

关键词

四象限探测器/光斑定位/测量精度/影响因素/因素优化

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

刁宽,刘晓军,徐龙,胡明亮..四象限探测器光斑定位精度影响因素研究[J].华中科技大学学报(自然科学版),2022,50(4):14-18,5.

基金项目

国家科学挑战专题资助项目(2018006-0102-02). (2018006-0102-02)

华中科技大学学报(自然科学版)

OA北大核心CSCDCSTPCD

1671-4512

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