华中科技大学学报（自然科学版）2022，Vol.50Issue(4)：26-32,7.DOI:10.13245/j.hust.220403
基于分解多目标进化算法的光刻区调度方法
Decomposition multi-objective evolutionary algorithm based photolithography area scheduling method
摘要
关键词
晶圆制造系统/光刻区/多目标调度/分解多目标进化算法/聚合函数分类
机械制造引用本文复制引用
张朋,张洁,王卓君,孙可芯..基于分解多目标进化算法的光刻区调度方法[J].华中科技大学学报（自然科学版）,2022,50(4):26-32,7.基金项目
国家自然科学基金资助项目(52005099) （52005099）
中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(223202100044). （223202100044）
