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计算电容屏蔽电极位移测量的不确定度评估

王建波殷聪钱进刘忠有黄璐杨雁陆祖良

计量学报2022，Vol.43Issue(4)：437-444,8.

计量学报2022，Vol.43Issue(4)：437-444,8.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2022.04.01

Uncertainty Evaluation on Displacement of Blocking Electrodes in Calculable Capacitor

王建波 ¹殷聪 ¹钱进 ¹刘忠有 ¹黄璐 ¹杨雁 ¹陆祖良¹

作者信息

计量学/计算电容/位移测量/锁定干涉仪/不确定度评估/屏蔽电极

通用工业技术

王建波,殷聪,钱进,刘忠有,黄璐,杨雁,陆祖良..计算电容屏蔽电极位移测量的不确定度评估[J].计量学报,2022,43(4):437-444,8.

国家重点研发计划(2016YFF0200302,2016YFF0200105) （2016YFF0200302,2016YFF0200105）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1000-1158

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