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微纳米三坐标测量机三轴垂直度误差测量及建模补偿

李瑞君李洁何亚雄程真英黄强先

计量学报2022，Vol.43Issue(4)：452-456,5.

计量学报2022，Vol.43Issue(4)：452-456,5.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2022.04.03

Measurement and Compensation Modeling of Perpendicularity Errors of Micro-nano CMM

李瑞君 ¹李洁 ¹何亚雄 ¹程真英 ¹黄强先¹

作者信息

计量学/微纳米三坐标测量机/垂直度误差/建模补偿

通用工业技术

李瑞君,李洁,何亚雄,程真英,黄强先..微纳米三坐标测量机三轴垂直度误差测量及建模补偿[J].计量学报,2022,43(4):452-456,5.

国家重点研发计划项目(2019YFB2004900) （2019YFB2004900）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1000-1158

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