中国光学2022,Vol.15Issue(3):568-591,24.DOI:10.37188/CO.2021-0188
高效率蓝光硅光探测器外延结构及特性研究
A study on the epitaxial structure and characteristics of high-efficiency blue silicon photodetectors
摘要
关键词
雪崩光电二极管/硅/光谱响应度分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
陈伟帅,张军,梁静秋,王惟彪,王浩冰,陶金,高丹,吕金光,秦余欣,郭广通,李香兰,王强..高效率蓝光硅光探测器外延结构及特性研究[J].中国光学,2022,15(3):568-591,24.基金项目
国家重点研发计划(No.2018YFB1801902,No.2018YFB1801901,No.2019YFB2006003) (No.2018YFB1801902,No.2018YFB1801901,No.2019YFB2006003)
吉林省科技发展计划项目(No.20190302062GX) (No.20190302062GX)
国家自然科学基金(青年基金)(No.12004139) (青年基金)
广东省科技计划项目资助项目(No.2016B010111003) (No.2016B010111003)