光学精密工程2022，Vol.30Issue(9)：P.1058-1070,13.DOI:10.37188/OPE.20223009.1058
线性偏摆复合型压电微动平台
摘要
关键词
微动平台/线性运动/偏摆运动/柔性机构/数学模型分类
机械制造引用本文复制引用
王耿,魏维宁,代军,闫勇刚..线性偏摆复合型压电微动平台[J].光学精密工程,2022,30(9):P.1058-1070,13.基金项目
河南省科技攻关项目(No.202102210082,No.212102210323) （No.202102210082,No.212102210323）
河南理工大学杰出青年基金资助项目(No.J2020-5) （No.J2020-5）
河南理工大学博士基金资助项目(No.B2014-037,No.B2017-32) （No.B2014-037,No.B2017-32）
河南理工大学青年骨干教师基金资助项目(No.2017XQG-04)。 （No.2017XQG-04）
