表面技术2022，Vol.51Issue(5)：P.336-344,9.
环境友好型缓蚀剂在镁合金化学机械抛光过程中的缓蚀作用
赵仕程 1张振宇 2刘杰 3徐光宏 3李玉彪 3崔祥祥3
作者信息
- 1. 齐鲁工业大学机械工程学院,济南250353
- 2. 齐鲁工业大学机械工程学院,济南250353 大连理工大学,辽宁大连116024
- 3. 大连理工大学,辽宁大连116024
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摘要
关键词
镁合金/苯甲酸钠/酒石酸钠/化学机械抛光/缓蚀机理分类
矿业与冶金引用本文复制引用
赵仕程,张振宇,刘杰,徐光宏,李玉彪,崔祥祥..环境友好型缓蚀剂在镁合金化学机械抛光过程中的缓蚀作用[J].表面技术,2022,51(5):P.336-344,9.
