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5083铝合金绿色化学机械抛光液对表面粗糙度的影响及机理分析

宋晓明 张振宇 刘杰 李玉彪 赵仕程 徐光宏

表面技术2022,Vol.51Issue(5):P.345-353,9.
表面技术2022,Vol.51Issue(5):P.345-353,9.

5083铝合金绿色化学机械抛光液对表面粗糙度的影响及机理分析

宋晓明 1张振宇 2刘杰 3李玉彪 3赵仕程 1徐光宏3

作者信息

  • 1. 齐鲁工业大学机械工程学院,济南250353
  • 2. 齐鲁工业大学机械工程学院,济南250353 大连理工大学,辽宁大连116024
  • 3. 大连理工大学,辽宁大连116024
  • 折叠

摘要

关键词

5083铝合金/化学机械抛光/绿色环保/表面粗糙度/机理分析/电化学分析

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

宋晓明,张振宇,刘杰,李玉彪,赵仕程,徐光宏..5083铝合金绿色化学机械抛光液对表面粗糙度的影响及机理分析[J].表面技术,2022,51(5):P.345-353,9.

表面技术

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-3660

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