表面技术2022,Vol.51Issue(5):P.345-353,9.
5083铝合金绿色化学机械抛光液对表面粗糙度的影响及机理分析
宋晓明 1张振宇 2刘杰 3李玉彪 3赵仕程 1徐光宏3
作者信息
- 1. 齐鲁工业大学机械工程学院,济南250353
- 2. 齐鲁工业大学机械工程学院,济南250353 大连理工大学,辽宁大连116024
- 3. 大连理工大学,辽宁大连116024
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摘要
关键词
5083铝合金/化学机械抛光/绿色环保/表面粗糙度/机理分析/电化学分析分类
矿业与冶金引用本文复制引用
宋晓明,张振宇,刘杰,李玉彪,赵仕程,徐光宏..5083铝合金绿色化学机械抛光液对表面粗糙度的影响及机理分析[J].表面技术,2022,51(5):P.345-353,9.