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直流电弧等离子体喷射化学气相沉积法制备金刚石膜过程中冷阱的设计及作用

陈良贤 邵思武 刘鹏 安康 郑宇亭 黄亚博 白明洁 张建军 刘金龙 魏俊俊 李成明

金刚石与磨料磨具工程2022，Vol.42Issue(2)：P.150-155,6.
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金刚石与磨料磨具工程2022，Vol.42Issue(2)：P.150-155,6.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2021.0113

直流电弧等离子体喷射化学气相沉积法制备金刚石膜过程中冷阱的设计及作用

陈良贤 1邵思武 1刘鹏 1安康 2郑宇亭 2黄亚博 1白明洁 1张建军 1刘金龙 1魏俊俊 1李成明1

作者信息

  • 1. 北京科技大学新材料技术研究院,北京100083
  • 2. 北京科技大学新材料技术研究院,北京100083 北京科技大学顺德研究生院,广东佛山528399
  • 折叠

摘要

关键词

直流电弧等离子体喷射化学气相沉积法/金刚石膜/循环系统/冷阱

分类

化学化工

引用本文复制引用

陈良贤,邵思武,刘鹏,安康,郑宇亭,黄亚博,白明洁,张建军,刘金龙,魏俊俊,李成明..直流电弧等离子体喷射化学气相沉积法制备金刚石膜过程中冷阱的设计及作用[J].金刚石与磨料磨具工程,2022,42(2):P.150-155,6.

基金项目

国家重点研发计划(2018YFB0406500,2016YFE0133200) （2018YFB0406500,2016YFE0133200）

欧洲地平线Horizon 2020计划(734578)。 （734578）

金刚石与磨料磨具工程

OA北大核心CSTPCD

1006-852X

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