二维纳米机电谐振器高效制备

梁亚春朱健凯肖飞焦陈寅徐博夏娟王曾晖

电子科技大学学报2022，Vol.51Issue(3)：P.452-457,6.

电子科技大学学报2022，Vol.51Issue(3)：P.452-457,6.DOI:10.12178/1001-0548.2021399

梁亚春 ¹朱健凯 ¹肖飞 ¹焦陈寅 ¹徐博 ¹夏娟 ¹王曾晖¹

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干法转移/纳米器件制备/纳机电谐振器/金属电极制备

信息技术与安全科学

梁亚春,朱健凯,肖飞,焦陈寅,徐博,夏娟,王曾晖..二维纳米机电谐振器高效制备[J].电子科技大学学报,2022,51(3):P.452-457,6.

国家自然科学基金(U21A20459)。（U21A20459）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1001-0548

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