电源技术2022，Vol.46Issue(5)：P.549-551,3.DOI:10.3969/j.issn.1002-087X.2022.05.020
基于台阶刻蚀工艺的GaInP/GaAs/Ge太阳电池激光划片研究
许军 1铁剑锐 1孙希鹏 1康洪波2
作者信息
- 1. 天津恒电空间电源有限公司,天津300384
- 2. 河北建筑工程学院信息工程学院,河北张家口075000
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摘要
关键词
台阶刻蚀/激光划片/热效应分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
许军,铁剑锐,孙希鹏,康洪波..基于台阶刻蚀工艺的GaInP/GaAs/Ge太阳电池激光划片研究[J].电源技术,2022,46(5):P.549-551,3.
