光学精密工程2022，Vol.30Issue(10)：1181-1188,8.DOI:10.37188/OPE.20223010.1181
电子束直写大深宽比Si3N4薄膜支撑的光栅X射线准直器
Grating X-ray collimator supported by Si3N4 membrane with large aspect ratio written directly by electron beam
摘要
关键词
X射线准直器/Au光栅/电子束光刻/大深宽比/金电镀分类
数理科学引用本文复制引用
李艺杰,肖君,陈宜方,童徐杰,穆成阳..电子束直写大深宽比Si3N4薄膜支撑的光栅X射线准直器[J].光学精密工程,2022,30(10):1181-1188,8.基金项目
上海STCSM项目(No.19142202700) （No.19142202700）
国家自然科学基金项目(No.61927820) （No.61927820）
