机电工程技术2022，Vol.51Issue(5)：30-33,4.DOI:10.3969/j.issn.1009-9492.2022.05.007
真空比对系统高精度转台设计与分析
Design and Analysis of High-precision Turntable for Vacuum Comparison System
摘要
关键词
转台/设计/分析/高精度分类
机械制造引用本文复制引用
王钰玮,王凯,贾瑞栋,叶新..真空比对系统高精度转台设计与分析[J].机电工程技术,2022,51(5):30-33,4.基金项目
国家重点研发计划项目(编号:2018YFB0504600) （编号:2018YFB0504600）
