液压与气动2022,Vol.46Issue(5):18-25,8.DOI:10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.002
不同驱动方式下超纯水隔膜阀阀口流动特性研究
Flow Characteristics of Ultrapure Water Diaphragm Valve under Different Driving Modes
摘要
关键词
超纯介质/隔膜阀/COMSOL/数值计算分类
机械制造引用本文复制引用
闵为,米智强,李成,王卓锋,胥敏..不同驱动方式下超纯水隔膜阀阀口流动特性研究[J].液压与气动,2022,46(5):18-25,8.基金项目
国家自然科学基金(52165007) (52165007)