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齿面干涉测量系统的成像畸变分析与光路优化

王兆辉 杨鹏程 徐晋 梁蒲佳 朱新栋

中国机械工程2022,Vol.33Issue(10):1219-1225,7.
中国机械工程2022,Vol.33Issue(10):1219-1225,7.DOI:10.3969/j.issn.1004-132X.2022.10.011

齿面干涉测量系统的成像畸变分析与光路优化

Imaging Distortion Analysis and Optical Path Optimization of Tooth Surface Interferometry Systems

王兆辉 1杨鹏程 1徐晋 1梁蒲佳 1朱新栋2

作者信息

  • 1. 西安工程大学机电工程学院,西安,710048
  • 2. 西安交通大学制造系统工程国家重点实验室,西安,710049
  • 折叠

摘要

关键词

激光干涉/干涉条纹/齿面像/形状畸变

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

王兆辉,杨鹏程,徐晋,梁蒲佳,朱新栋..齿面干涉测量系统的成像畸变分析与光路优化[J].中国机械工程,2022,33(10):1219-1225,7.

基金项目

陕西省自然科学基础研究计划(2022JM-219) (2022JM-219)

广东省企业重点实验室开放基金(2021B1212050012-05) (2021B1212050012-05)

西安工程大学研究生创新基金(chx2021008) (chx2021008)

中国机械工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-132X

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