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计量型激光椭偏仪初始入射角校准方法的研究

黎雄威李琪纪峰李适李伟黄鹭施玉书皮磊

计量学报2022，Vol.43Issue(5)：571-577,7.

计量学报2022，Vol.43Issue(5)：571-577,7.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2022.05.02

Research on Calibration Method of Initial Incident Angle of Metrological Laser Ellipsometer

黎雄威 ¹李琪 ²纪峰 ¹李适 ²李伟 ²黄鹭 ²施玉书 ²皮磊²

作者信息

计量学/计量型激光椭偏仪/椭偏测量/初始入射角/校准/微纳米薄膜

通用工业技术

黎雄威,李琪,纪峰,李适,李伟,黄鹭,施玉书,皮磊..计量型激光椭偏仪初始入射角校准方法的研究[J].计量学报,2022,43(5):571-577,7.

国家质量基础的共性技术研究与应用(2017YFF0204705) （2017YFF0204705）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1000-1158

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