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感应耦合等离子体喷涂工作参数对涂层性能影响的实验研究

詹志华 王春华 周秋娇 刘成周 赵鹏

电工技术学报2022，Vol.37Issue(11)：2725-2732,8.
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电工技术学报2022，Vol.37Issue(11)：2725-2732,8.DOI:10.19595/j.cnki.1000-6753.tces.210607

感应耦合等离子体喷涂工作参数对涂层性能影响的实验研究

Experimental Study on the Influence of Inductively Coupled Plasma Operating Parameters on Coating Quality

詹志华 1王春华 2周秋娇 1刘成周 3赵鹏2

作者信息

  • 1. 合肥工业大学电子科学与应用物理学院 合肥 230601
  • 2. 中国科学院合肥物质研究院等离子体所 合肥 230031
  • 3. 中国科学院深圳先进技术研究院 深圳 440305
  • 折叠

摘要

关键词

感应耦合等离子体/氢气/放电气体/碳化硼涂层

分类

数理科学

引用本文复制引用

詹志华,王春华,周秋娇,刘成周,赵鹏..感应耦合等离子体喷涂工作参数对涂层性能影响的实验研究[J].电工技术学报,2022,37(11):2725-2732,8.

基金项目

国家自然科学基金面上项目(11775271)和国家自然科学基金项目(Y95FZ40191)资助. （11775271）

电工技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-6753

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