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制备方法对ZnO纳米薄膜微结构及光电性能的影响研究

陈真英 李飞

科技创新与应用2022,Vol.12Issue(17):P.19-22,4.
科技创新与应用2022,Vol.12Issue(17):P.19-22,4.DOI:10.19981/j.CN23-1581/G3.2022.17.005

制备方法对ZnO纳米薄膜微结构及光电性能的影响研究

陈真英 1李飞1

作者信息

  • 1. 北部湾大学理学院,广西钦州535011
  • 折叠

摘要

关键词

ZnO纳米薄膜/磁控溅射/电子束蒸发/微观形貌及结构/光电性能

分类

数理科学

引用本文复制引用

陈真英,李飞..制备方法对ZnO纳米薄膜微结构及光电性能的影响研究[J].科技创新与应用,2022,12(17):P.19-22,4.

基金项目

国家自然科学基金项目(51862031) (51862031)

全国大学生创新训练计划项目(201911607009) (201911607009)

北部湾大学高层次人才科研启动项目(18KYQD50)。 (18KYQD50)

科技创新与应用

2095-2945

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