测控技术2022，Vol.41Issue(6)：15-18,25,5.DOI:10.19708/j.ckjs.2021.12.307
全SiC结构高温压力传感器制备及测试
Preparation and Testing of High Temperature Pressure Sensor with Full SiC Structure
摘要
关键词
压力传感器/碳化硅/反应性离子刻蚀/直接键合分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
梁晓波,黄漫国,刘德峰,盛天宇,李健,蒋永刚..全SiC结构高温压力传感器制备及测试[J].测控技术,2022,41(6):15-18,25,5.基金项目
装备发展部装备预研共用技术项目(41423020309) （41423020309）
