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化学气相沉积(CVD)金刚石研究现状和发展趋势

李成明 陈良贤 吕反修 任飞桐 邵思武 牟恋希 张钦睿 何健 郑宇亭 刘金龙 魏俊俊

人工晶体学报2022,Vol.51Issue(5):759-780,22.
人工晶体学报2022,Vol.51Issue(5):759-780,22.

化学气相沉积(CVD)金刚石研究现状和发展趋势

Progress of Chemical Vapor Deposition ( CVD) Diamond

李成明 1陈良贤 1吕反修 1任飞桐 1邵思武 1牟恋希 1张钦睿 1何健 1郑宇亭 1刘金龙 1魏俊俊1

作者信息

  • 1. 北京科技大学新材料技术研究院,新金属材料国家重点实验室,北京 100083
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摘要

关键词

化学气相沉积/金刚石/色心/超宽禁带/散热/超硬材料

分类

化学化工

引用本文复制引用

李成明,陈良贤,吕反修,任飞桐,邵思武,牟恋希,张钦睿,何健,郑宇亭,刘金龙,魏俊俊..化学气相沉积(CVD)金刚石研究现状和发展趋势[J].人工晶体学报,2022,51(5):759-780,22.

基金项目

国家重点研发计划(2018YFB0406500,2016YFE0133200) (2018YFB0406500,2016YFE0133200)

欧洲地平线Horizon 2020计划(734578) (734578)

北京科技大学顺德研究生院科研经费(2020BH015) (2020BH015)

人工晶体学报

OA北大核心CSTPCD

1000-985X

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