|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|人工晶体学报|单晶金刚石p型和n型掺杂的研究

单晶金刚石p型和n型掺杂的研究

牛科研 张璇 崔博垚 马永健 唐文博 魏志鹏 张宝顺

人工晶体学报2022，Vol.51Issue(5)：841-851,11.
✕
人工晶体学报2022，Vol.51Issue(5)：841-851,11.

单晶金刚石p型和n型掺杂的研究

p-Type and n-Type Doping of Single Crystal Diamond

牛科研 1张璇 2崔博垚 2马永健 2唐文博 2魏志鹏 1张宝顺2

作者信息

  • 1. 长春理工大学物理学院,高功率半导体激光国家重点实验室,长春 130022
  • 2. 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米加工平台,苏州 215123
  • 折叠

摘要

关键词

金刚石/离子注入/化学气相沉积/超宽禁带半导体/掺杂/n型/p型

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

牛科研,张璇,崔博垚,马永健,唐文博,魏志鹏,张宝顺..单晶金刚石p型和n型掺杂的研究[J].人工晶体学报,2022,51(5):841-851,11.

基金项目

国家自然科学基金青年科学基金(61804166) （61804166）

人工晶体学报

OA北大核心CSTPCD

1000-985X

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文