人工晶体学报2022，Vol.51Issue(5)：865-874,10.
纳米金刚石薄膜的掺杂、表/界面调控及性能研究
Doping, Surface/Interface Regulation and Properties of Nanocrystalline Diamond Films
摘要
关键词
纳米金刚石薄膜/掺杂/表面态/电学性能/n型电导/p型电导分类
通用工业技术引用本文复制引用
胡晓君,郑玉浩,陈成克,鲁少华,蒋梅燕,李晓..纳米金刚石薄膜的掺杂、表/界面调控及性能研究[J].人工晶体学报,2022,51(5):865-874,10.基金项目
国家自然科学基金联合重点项目(U1809210) （U1809210）
国家重点研发计划(2016YFE0133200) （2016YFE0133200）
国家国际科技合作计划(2014DFR51160) （2014DFR51160）
浙江省重点研发计划一带一路国际合作项目(2018C04021) （2018C04021）
国家自然科学基金(50972129,50602039,11504325,52002351,52102052) （50972129,50602039,11504325,52002351,52102052）
浙江省自然科学基金(LQ15A040004,LY18E020013,LGC21E020001) （LQ15A040004,LY18E020013,LGC21E020001）
