人造金刚石单晶薄膜的制备及表面形貌优化OA北大核心CSTPCD
Preparation and Surface Optimization of Synthetic Diamond Single Crystal Film
人造金刚石作为一种高效的热管理衬底,在宽禁带半导体电子器件领域具有广泛的应用前景.然而微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法外延金刚石单晶的生长速率慢,表面粗糙度高,难以满足半导体器件的衬底需求.对此,本文采用MPCVD法制备金刚石单晶薄膜,通过分阶段生长监控样品的生长速率,结合显微镜照片和AFM表征样品的表面形貌和表面粗糙度,根据拉曼光谱和XRD分析外延薄膜的晶体质量,最终采用高/低甲烷浓度的两步法外延工艺,实现了金刚石单晶薄膜的高速外延,生…查看全部>>
殷梓萌;郑凯文;邹幸洁;路鑫宇;陈凯;叶煜聪;胡文晓;陶涛
南京大学电子科学与工程学院,南京 210093南京大学电子科学与工程学院,南京 210093南京大学电子科学与工程学院,南京 210093南京大学电子科学与工程学院,南京 210093南京大学电子科学与工程学院,南京 210093南京大学电子科学与工程学院,南京 210093南京大学电子科学与工程学院,南京 210093南京大学电子科学与工程学院,南京 210093
数理科学
人造金刚石MPCVD甲烷浓度单晶外延表面形貌优化
《人工晶体学报》 2022 (5)
基于表面等离激元和微纳复合结构的可见光通信LED的调制带宽研究
901-909,9
国家重点研发计划(2021YFB3601600)国家自然科学基金(61974062,62074077,62004104)江苏省自然科学基金(BK20180747)江苏省重点研发计划(BE2021008-2)
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