人工晶体学报2022，Vol.51Issue(5)：910-919,10.
MPCVD金刚石薄膜微波功率和沉积压力匹配性研究
Microwave Power and Deposition Pressure Matching of MPCVD Diamond Films
摘要
关键词
金刚石薄膜/MPCVD/沉积压力/微波功率/均匀性/数值模拟分类
化学化工引用本文复制引用
张帅,李成明,安康,邵思武,黄亚博,杨志亮,陈良贤,魏俊俊,刘金龙,郑宇亭..MPCVD金刚石薄膜微波功率和沉积压力匹配性研究[J].人工晶体学报,2022,51(5):910-919,10.基金项目
国家磁约束核聚变能发展研究专项资助(2019YFE100200) （2019YFE100200）
国家自然科学基金(52102034) （52102034）
中央高校基本科研业务费(FRF-MP-20-48) （FRF-MP-20-48）
北京科技大学顺德研究生院博士后研究经费(2020BH015) （2020BH015）
