人工晶体学报2022，Vol.51Issue(5)：941-947,7.
大尺寸单晶金刚石磨抛一体化加工研究
Integrated Processing of Grinding and Polishing for Large-Size Single Crystal Diamond
摘要
关键词
CVD单晶金刚石/磨抛一体化/反应抛光/粗糙度/陶瓷砂轮/SG轮分类
化学化工引用本文复制引用
温海浪,陆静,李晨,胡光球..大尺寸单晶金刚石磨抛一体化加工研究[J].人工晶体学报,2022,51(5):941-947,7.基金项目
国家自然科学基金(51975222,51835004) （51975222,51835004）
福建省杰出青年基金(2021J06027) （2021J06027）
