表面技术2022，Vol.51Issue(6)：364-373,398,11.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2022.06.035
高功率微波等离子体对单晶金刚石同质外延生长的影响
Effect of High Microwave Power Plasma on the Homogeneous Epitaxy Growth of Single Crystal Diamond
摘要
关键词
单晶金刚石/微波等离子体/化学气相沉积/高功率/高速率分类
化学化工引用本文复制引用
张青,翁俊,刘繁,李廷垟,汪建华,熊礼威,赵洪阳..高功率微波等离子体对单晶金刚石同质外延生长的影响[J].表面技术,2022,51(6):364-373,398,11.基金项目
国家自然科学基金(51402220) （51402220）
湖北省教育厅科学研究计划(Q20201512) （Q20201512）
