发光学报2022，Vol.43Issue(6)：934-943,10.DOI:10.37188/CJL.20220046
不同功率O2或N2等离子处理TiNx阳极表面对硅基OLED发光性能的影响
Influence of Different O2 or N2 Plasma Powers to TiNx Anode Surface on OLEDs-on Silicon Performance
摘要
关键词
等离子处理/硅基OLED/氮化钛/载流子浓度及迁移率分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李祥,刘海,魏斌,张建华..不同功率O2或N2等离子处理TiNx阳极表面对硅基OLED发光性能的影响[J].发光学报,2022,43(6):934-943,10.基金项目
国家自然科学基金(51725505) （51725505）
上海市科委项目(18JC1410402,15JC1402000) （18JC1410402,15JC1402000）
新型显示技术及应用集成教育部重点实验室开放基金资助项目 （）
