光学精密工程2022，Vol.30Issue(11)：1317-1324,8.DOI:10.37188/OPE.20223011.1317
单晶硅压痕接触变形的简化计算
Simplified calculation of indentation contact deformation of monocrystalline silicon
摘要
关键词
磨粒加工/单晶硅/压头位移深度/压痕接触变形/压痕深度分类
机械制造引用本文复制引用
葛梦然,王全景,张振中..单晶硅压痕接触变形的简化计算[J].光学精密工程,2022,30(11):1317-1324,8.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.52005301) （No.52005301）
山东建筑大学博士科研基金资助项目(No.X20055Z) （No.X20055Z）
