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基于超小GRIN光纤镜头的MEMS光纤声传感器及性能测试方法

王驰 陈伟 孙建美 郑园成 陈斐璐

光学精密工程2022,Vol.30Issue(12):1406-1417,12.
光学精密工程2022,Vol.30Issue(12):1406-1417,12.DOI:10.37188/OPE.20223012.1406

基于超小GRIN光纤镜头的MEMS光纤声传感器及性能测试方法

MEMS fiber optic acoustic sensor and performance testing method based on ultra-small GRIN fiber lens

王驰 1陈伟 1孙建美 1郑园成 1陈斐璐1

作者信息

  • 1. 上海大学精密机械工程系,上海200444
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摘要

关键词

超小GRIN光纤镜头/MEMS/光纤声传感器/SS-OCT

分类

机械制造

引用本文复制引用

王驰,陈伟,孙建美,郑园成,陈斐璐..基于超小GRIN光纤镜头的MEMS光纤声传感器及性能测试方法[J].光学精密工程,2022,30(12):1406-1417,12.

基金项目

国家自然科学基金项目(No.62175144) (No.62175144)

上海市科技创新行动计划资助项目(No.20142200100) (No.20142200100)

光学精密工程

OA北大核心CSTPCD

1004-924X

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