光学精密工程2022,Vol.30Issue(12):1406-1417,12.DOI:10.37188/OPE.20223012.1406
基于超小GRIN光纤镜头的MEMS光纤声传感器及性能测试方法
MEMS fiber optic acoustic sensor and performance testing method based on ultra-small GRIN fiber lens
摘要
关键词
超小GRIN光纤镜头/MEMS/光纤声传感器/SS-OCT分类
机械制造引用本文复制引用
王驰,陈伟,孙建美,郑园成,陈斐璐..基于超小GRIN光纤镜头的MEMS光纤声传感器及性能测试方法[J].光学精密工程,2022,30(12):1406-1417,12.基金项目
国家自然科学基金项目(No.62175144) (No.62175144)
上海市科技创新行动计划资助项目(No.20142200100) (No.20142200100)