太阳能Issue(6)：97-102,6.DOI:10.19911/j.1003-0417.tyn20210311.01
石墨舟卡点处硅片及单晶硅太阳电池品质异常的研究
RESEARCH ON ABNORMAL QUALITY OF SILICON WAFERS AND MONO-Si SOLAR CELLS AT THE STUCK POINT OF GRAPHITE BOAT
张福庆 1王贵梅 1孙晓凯 1赵鹏飞 1曹占傲1
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摘要
关键词
二合一/管式PECVD设备/镀膜/石墨舟卡点处/硅片/太阳电池/品质异常分类
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张福庆,王贵梅,孙晓凯,赵鹏飞,曹占傲..石墨舟卡点处硅片及单晶硅太阳电池品质异常的研究[J].太阳能,2022,(6):97-102,6.
