烟台大学学报（自然科学与工程版）2022，Vol.35Issue(3)：351-356,6.DOI:10.13951/j.cnki.37-1213/n.210503
数字微镜阵列微立体光刻系统光路仿真与应用
Optical Path Simulation and Applications of Micro Stereolithograph System Based on Digital Micromirror Device
摘要
关键词
数字光刻/微纳制造/光路设计/数字微镜阵列分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
武传祥,蔡树向,杨文广..数字微镜阵列微立体光刻系统光路仿真与应用[J].烟台大学学报（自然科学与工程版）,2022,35(3):351-356,6.基金项目
国家自然科学基金资助项目(61803323) （61803323）
山东省自然科学基金资助项目(ZR2019BF049). （ZR2019BF049）
