北京信息科技大学学报：自然科学版2022，Vol.37Issue(3)：P.96-100,5.DOI:10.16508/j.cnki.11-5866/n.2022.03.016
一种MEMS平面线圈电镀方法
摘要
关键词
电镀工艺/微机电系统(MEMS)/有限元仿真/平面线圈分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
卢宇杰,阮勇..一种MEMS平面线圈电镀方法[J].北京信息科技大学学报：自然科学版,2022,37(3):P.96-100,5.基金项目
国家自然科学基金区域创新发展联合基金资助项目(U21A6003)。 （U21A6003）
