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基于二元布气的大气压等离子体沉积TiO2功能层提高陶瓷表面绝缘性能

赵鸣鸣 于维鑫 孔飞 章程 程显 邵涛

电工技术学报2022，Vol.37Issue(13)：3404-3412,9.
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电工技术学报2022，Vol.37Issue(13)：3404-3412,9.DOI:10.19595/j.cnki.1000-6753.tces.210609

基于二元布气的大气压等离子体沉积TiO2功能层提高陶瓷表面绝缘性能

Improvement of Surface Insulating Properties of Ceramics by Deposition of TiO2 Functional Layer by Atmospheric Pressure Plasma with Binary Gas Distribution

赵鸣鸣 1于维鑫 2孔飞 2章程 3程显 2邵涛2

作者信息

  • 1. 郑州大学电气工程学院 郑州 450052
  • 2. 中国科学院电工研究所等离子体科学和能源转化北京市国际科技合作基地 北京 100190
  • 3. 中国科学院大学 北京 100049
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摘要

关键词

大气压等离子体/沉积氧化铝/陶瓷TiO2/表面电荷/闪络电压

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

赵鸣鸣,于维鑫,孔飞,章程,程显,邵涛..基于二元布气的大气压等离子体沉积TiO2功能层提高陶瓷表面绝缘性能[J].电工技术学报,2022,37(13):3404-3412,9.

基金项目

国家自然科学基金(51925703,51807189,52037004)和电力系统及大型发电设备安全控制与仿真国家重点实验室开放研究课题(SKLD20M02)资助项目. （51925703,51807189,52037004）

电工技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-6753

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