高压电器2022，Vol.58Issue(7)：57-63,7.DOI:10.13296/j.1001⁃1609.hva.2022.07.008
MEMS电场传感器测试技术研究及进展
Research and Development of MEMS Electric Field Sensor Testing Technology
摘要
关键词
MEMS传感器/电场传感器/晶圆级测试/器件级测试/电场标定引用本文复制引用
雷煜卿,焦飞,张树华,彭国政..MEMS电场传感器测试技术研究及进展[J].高压电器,2022,58(7):57-63,7.基金项目
中国电力科学研究院有限公司长线项目(AI83-20-006). （AI83-20-006）
