金刚石与磨料磨具工程2022，Vol.42Issue(3)：268-274,7.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2021.0208
超声振动辅助研磨单晶碳化硅晶片工艺研究
Process research on ultrasonic vibration assisted lapping of single crystal silicon carbide
摘要
关键词
超声振动/碳化硅/研磨/材料去除率分类
矿业与冶金引用本文复制引用
郝晓丽,苑泽伟,温泉,郭胜利..超声振动辅助研磨单晶碳化硅晶片工艺研究[J].金刚石与磨料磨具工程,2022,42(3):268-274,7.基金项目
国家自然科学基金(51305278) （51305278）
辽宁省兴辽英才计划项目(XLYC2007133) （XLYC2007133）
辽宁省自然科学基金(2020-MS-213). （2020-MS-213）
